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干法去膠主要是利用等離子去膠機(jī)去除光刻膠，原理是利用電離氧氣產(chǎn)生的活化氧與光刻膠發(fā)生氧化反應(yīng)并將其氧化成水汽和二氧化碳等排出腔室。等離子去膠的優(yōu)點是去膠操作簡單、去膠效率高、環(huán)保、去膠后晶圓表面干凈光潔、無劃痕，而且對結(jié)構(gòu)的其它層無損傷。